中微公司2月24日晚间发布业绩快报显示，2020年营业收入为22.73亿元，同比增长16.76%；净利润4.92亿元，同比增长161.02%；基本每股收益0.92元。

中微公司表示，受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，公司2020年刻蚀设备收入达到12.89亿元，同比增长约58.49%；由于市场原因，公司2020年MOCVD设备收入为4.96亿元，同比下降约34.47%。

据公告，公司2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）3亿元而间接持中芯国际科创板股票，因中芯国际股价变动导致公司产生公允价值变动收益约2.62亿元。公司2020年获得的政府补助比2019年增加2.26亿元。

中微公司解释称，扣非后归母净利润同比减少84.04%，主要因为公司2020年因实施股权激励计划产生股份支付费用约1.24亿元（属于经常性损益），2019年无该类费用发生。若剔除股份支付费用的影响，2020年扣非归母净利润约为1.47亿元，同比约减少0.43%。